半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録します。
集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析してグラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力します。
本システムで保存したデータを解析、表示するオプション有り。
主な仕様
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株式会社ペリテック
群馬県高崎市片岡町
1-17-2
TEL 027-328-6970
