ペリテックの製品紹介


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半導体製造装置振動モニタ

半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録します。
集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析してグラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力します。
本システムで保存したデータを解析、表示するオプション有り。

構成

半導体製造装置振動モニタ

特長

主な仕様

  • 集録ch数 15ch (変位6ch、加速度9ch)
  • 集録データモニタ表示
  • CSVファイル自動保存 (1時間単位で自動分割)
  • サンプリング周波数 10~0.1Hz
  • FFT解析による周波数-パワー密度グラフ表示
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ペリテック製品

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株式会社ペリテック
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1-17-2
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